Jaeger, Richard C.

Introduction to microelectronic fabrication / Richard C. Jaeger. - 2nd ed. - Upper Saddle River, NJ : Prentice Hall, c2002. - xiv, 316 p. : il., gráficos, formularios ; 24 cm. - Modular series on solid state devices ; v. 5 . - Modular series on solid state devices (Upper Saddle River, N.J.) ; v. 5. .

Incluye referencias biliográficas e índice.

0201444941


Circuitos integrados--Integración a gran escala--Diseño y construcción--Libros de texto.
Integrated circuits--Very large scale integration--Design and construction--Textbooks.

TK7874 / J34 2002

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