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Handbook of semiconductor manufacturing technology / edited by Robert Doering, Yoshio Nishi. - 2nd ed. - Boca Raton : CRC, c2008. - 1 v. (en varias paginaciones) : il. ; 27 cm.

Incluye referencias bibliográficas e índice.

ISBN: 9781574446753 (alk. paper) 1574446754 (alk. paper)

Subjects--Topical Terms:
Semiconductors--Design and construction--Handbooks, manuals, etc.
Semiconductor industry--Handbooks, manuals, etc.
Semiconductores--Diseño y construcción--Manuales.
Industria de semiconductores--Manuales.

LC Class. No.: TK7871.85 / H354 2008