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Wolf, Stanley, 1943-

Silicon processing for the VLSI era / Stanley Wolf, Richard N. Tauber. - 2a ed. - Sunset Beach, Calif. : Lattice Press, c2000- - v. <1 > : il. ; 25 cm.

Incluye referencias bibliográficas e índice.

v. 1. Process technology

ISBN: 0961672161 (v. 1)

LCCN: 2003283097

Subjects--Topical Terms:
Circuitos integrados--Integración a gran escala.
Silicio.
Semiconductores--Grabado.
Semiconductors--Etching.
Integrated circuits--Very large scale integration.
Silicon.

LC Class. No.: TK7874 / W65 2000