Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Jurado González, Jorge Adolfo.

Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica [recurso electrónico] / Jorge Adolfo Jurado González ; dirigida por Hugo Tiznado Vázquez, Franklin Muñoz Muñoz - Ensenada, Baja California, 2016. - 1 recurso en línea 45 p. : il.

Tesis (Licenciatura)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2015.

Incluye referencias bibliográficas.

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks un software de diseño "asistido por computadora" (CAD) en 3D


Ingeniería--Tesis y disertaciones académicas.

QC378 / J87 2016

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