Etching in microsystem technology /
Kohler, J. M. (J. Michael), 1956-.
Etching in microsystem technology / Michael Kohler. - Weinheim : Wiley, 1999. - xvi, 368 p. ; 24 cm.
Incluye bibliografia.
3-527-29561-5
TK7872 / .M3 K64
Etching in microsystem technology / Michael Kohler. - Weinheim : Wiley, 1999. - xvi, 368 p. ; 24 cm.
Incluye bibliografia.
3-527-29561-5
TK7872 / .M3 K64