MARC details
| 000 -LÍDER |
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| fixed length control field |
02629cmm a2200265 a 4500 |
| 001 - NÚMERO DE CONTROL |
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| control field |
u383236 |
| 003 - IDENTIFICADOR DEL NÚMERO DE CONTROL |
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| control field |
SIRSI |
| 008 - ELEMENTOS DE LONGITUD FIJA -- INFORMACIÓN GENERAL |
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| fixed length control field |
150618s2015 mx fo | spa d |
| 040 ## - FUENTE DE CATALOGACIÓN |
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| Transcribing agency |
MX-MeUAM |
| 050 #0 - SIGNATURA TOPOGRÁFICA DE LA BIBLIOTECA DEL CONGRESO |
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| Classification number |
QC176.8.M34 |
| Item number |
L59 2015 |
| 100 1# - ASIENTO PRINCIPAL--NOMBRE PERSONAL |
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| Personal name |
Lizárraga Maldonado, Alejandro. |
| 245 10 - MENCIÓN DE TITULO |
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| Title |
Estudio y caracterización de películas delgadas basadas en silicio depositadas por sputtering con magnetrón RF |
| Medium |
[recurso electrónico] / |
| Statement of responsibility, etc. |
Alejandro Lizárraga Maldonado ; director, Mario Alberto Curiel Álvarez. |
| 260 ## - PUBLICACIÓN, DISTRIBUCIÓN, ETC. (PIE DE IMPRENTA) |
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| Place of publication, distribution, etc. |
Mexicali, Baja California, |
| Date of publication, distribution, etc. |
2015. |
| 300 ## - DESCRIPCIÓN FÍSICA |
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| Extent |
1 recurso en línea (62 p. : |
| Other physical details |
il., gráficas) |
| 500 ## - NOTA GENERAL |
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| General note |
Maestría y Doctorado en Ciencias e Ingeniería. |
| 502 ## - NOTA DE TESIS |
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| Dissertation note |
Tesis (Maestría) --Universidad Autónoma de Baja California. |
| Degree type |
Instituto de Ingeniería, Mexicali, 2015. |
| 504 ## - NOTA DE BIBLIOGRAFÍA, ETC. |
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| Bibliography, etc |
Incluye referencias bibliográficas. |
| 520 ## - NOTA DE RESUMEN, ETC. |
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| Summary, etc. |
En el presente trabajo se estudian las propiedades de películas delgadas basadas en Silicio depositadas por medio de Espurreo con Magnetrón RF empleado Argón como gas de trabajo a diferentes presiones. Las películas obtenidas se analizaron por medio de Microscopía de Fuerza Atómica (AFM), Espectroscopía de rayos X por energía dispersiva (EDS), Elipsometría Espectroscópica de Angulo Variable (VASE) y técnicas de caracterización eléctrica. Para el análisis de los datos de elipsometría se realizaron ajustes por medio de diversos modelos de funciones dieléctricas (B-Spline, Osciladores Generales) y se calcularon las constantes ópticas de las diferentes muestras. Un estudio preliminar de Elipsometría Espectroscópica (SE) permitió observar que las películas depositadas poseían constantes ópticas de óxidos de Silicio sub-estequiométricos (SiOx) con diferentes composiciones. Los espectros obtenidos de EDS confirmaron la presencia de Oxígeno en diferentes concentraciones en los depósitos y se observó una relación entre la presión de trabajo y el cambio de las constantes ópticas. A pesar de que la composición elemental de las películas no correspondía a las condiciones de depósito empleadas, se estudiaron sus propiedades ópticas y eléctricas de los depósitos y se propuso un modelo de elipsometría para la función dieléctrica de los depósitos. |
| 596 ## - |
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2 |
| 650 #4 - ASIENTO SECUNDARIO DE MATERIA - TERMINO TEMÁTICO |
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| Topical term or geographic name as entry element |
Pulverización catódica magnetrón |
| Form subdivision |
Tesis y disertaciones académicas. |
| 700 1# - ASIENTO SECUNDARIO - NOMBRE PERSONAL |
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| Personal name |
Curiel Álvarez, Mario Alberto, |
| Relator term |
dir |
| 710 2# - ASIENTO SECUNDARIO - NOMBRE CORPORATIVO |
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| Corporate name or jurisdiction name as entry element |
Universidad Autónoma de Baja California. |
| Subordinate unit |
Instituto de Ingeniería. |
| 856 4# - LOCALIZACIÓN Y ACCESO ELECTRÓNICOS |
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| Public note |
Tesis Digital |
| Uniform Resource Identifier |
<a href="https://drive.google.com/file/d/0B7AGEh5aIwoTaUVNWEl4OUx1LXM/view?usp=sharing">https://drive.google.com/file/d/0B7AGEh5aIwoTaUVNWEl4OUx1LXM/view?usp=sharing</a> |
| 942 ## - TIPO DE MATERIAL (KOHA) |
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| Koha item type |
Tesis |
