MARC details
| 000 -LIDER |
|---|
| fixed length control field |
02863nam a22002417a 4500 |
| 003 - CONTROL NUMBER IDENTIFIER |
|---|
| control field |
MX-MeUAM |
| 005 - DATE AND TIME OF LATEST TRANSACTION |
|---|
| control field |
20191101111714.0 |
| 008 - FIXED-LENGTH DATA ELEMENTS--GENERAL INFORMATION |
|---|
| fixed length control field |
191017s2019 mx ||||fo|||| 00| 0 spa d |
| 040 ## - CATALOGING SOURCE |
|---|
| Original cataloging agency |
MX-MeUAM |
| Language of cataloging |
spa |
| Description conventions |
rda |
| 050 #4 - LIBRARY OF CONGRESS CALL NUMBER |
|---|
| Classification number |
TR940 |
| Item number |
M37 2019 |
| 100 1# - MAIN ENTRY--PERSONAL NAME |
|---|
| Personal name |
Márquez Sández, Alicia, |
| Dates associated with a name |
1996- |
| 9 (RLIN) |
18971 |
| 245 1# - TITLE STATEMENT |
|---|
| Title |
Síntesis y caracterización de bicapa de Cr2O3-Cr para su aplicación en la fabricación de fotomáscaras |
| Medium |
[recurso electrónico] / |
| Statement of responsibility, etc. |
Alicia Márquez Sández ; dirigida por Franklin David Muñoz Muñoz |
| 260 ## - PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC. (IMPRINT) |
|---|
| Place of publication, distribution, etc. |
Ensenada, Baja California, |
| Date of publication, distribution, etc. |
2019 |
| 300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION |
|---|
| Extent |
1 recurso en línea xi, 72 p. : |
| Other physical details |
il. |
| 502 ## - DISSERTATION NOTE |
|---|
| Dissertation note |
Tesis (Licenciatura) -- Universidad Autónoma de Baja California, Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2019 |
| 504 ## - BIBLIOGRAPHY, ETC. NOTE |
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| Bibliography, etc |
Incluye referencias bibliográficas e índice |
| 520 ## - SUMMARY, ETC. |
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| Summary, etc. |
En este trabajo de tesis, se llevó a cabo la síntesis de películas delgadas de óxido de cromo (III) sobre cromo (Cr2O3/Cr) en sustratos de vidrio y soda-lime, por el método de erosión iónica reactiva DC, para la fabricación de fotomáscaras con aplicación en fotolitografía. Con el objetivo de encontrar los parámetros experimentales para el sistema bicapa, se sintetizaron películas delgadas de Cr y Cr2O3 por erosión iónica reactiva DC, donde se llevó a cabo la variación los flujos de Ar y O2, además de la potencia y la presión de trabajo. Para conocer las propiedades químicas, ópticas y morfológicas de las películas delgadas de Cr y Cr2O3, se utilizaron las técnicas de caracterización de espectroscopia de fotoelectrones por rayos X (XPS), elipsometría espectroscópica (SE), microscopía de fuerza atómica (AFM) y microscopia electrónica de barrido (SEM), respectivamente. La relación estequiométrica entre los elementos Cr y O en la película sintetizada de Cr2O3 fue 2.0:3.0 (Cr:O), mientras que para el sistema bicapa de Cr2O3/Cr fue 2.0:3.5. Se obtuvieron películas de Cr y Cr2O3 con rugosidades de 3.74 nm y 1.37 nm, respectivamente. La tasa general de crecimiento para el Cr fue de 10.15 nm/min y para el Cr2O3 fue de 4.02 nm/min. Se comprobó la síntesis de un sistema bicapa de Cr2O3/Cr con 214 nm de espesor, compuesto de una capa de 34 nm de Cr2O3 y 180 nm de Cr. Con el sistema bicapa de Cr2O3/Cr obtenido, se fabricaron fotomáscaras por escritura con láser. Las fotomáscaras obtenidas fueron comparadas ópticamente con una fotomáscara comercial. Las propiedades ópticas presentadas por la fotomáscara fabricada presentan un comportamiento similar a las de una fotomáscara comercial. |
| 650 ## - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM |
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| Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Ingeniería |
| Subdivisión de forma |
Tesis y disertaciones académicas. |
| 650 #4 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM |
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| Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Fotolitografía |
| 700 1# - ADDED ENTRY--PERSONAL NAME |
|---|
| Personal name |
Muñoz Muñoz, Franklin David |
| 9 (RLIN) |
15673 |
| 856 4# - ELECTRONIC LOCATION AND ACCESS |
|---|
| Public note |
Tesis Digital. |
| Uniform Resource Identifier |
https://drive.google.com/file/d/19qvz-DsUw9yjQXz5vOMvvuqKEKqAmc4m/view?usp=sharing |
| 942 ## - ADDED ENTRY ELEMENTS (KOHA) |
|---|
| Koha item type |
Tesis |
