Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications, structures and properties / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon, Kyuyoung Heo.
Tipo de material: TextoIdioma: Inglés Detalles de publicación: Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2010Edición: 1st edDescripción: 67 p. : il. ; 23 cmISBN: 9781616687496 (softcover)Tema(s): Películas dieléctricas | Electrónica | Dielectric films | Microelectronics -- Materials | Interconectores (Tecnología de circuitos integrados) | Interconnects (Integrated circuit technology)Clasificación LoC:TK7871.15 .F5 | R44 2010Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras |
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Libro | Biblioteca Central Ensenada | Acervo General | TK871.15 .F5 R44 2010 (Browse shelf(Abre debajo)) | 1 | Disponible | ENS085653 |
Incluye referencias bibliográficas e índice.