Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica [recurso electrónico] / Ulises Augusto Pont de la Torre ; dirigida por Eduardo Antonio Murillo Bracamontes, Miguel Enrique Martínez Rosas.
Tipo de material:
TextoDetalles de publicación: Ensenada, Baja California, 2017Descripción: 1 recurso en línea, 39 p. : ilTema(s): Nanolitografía. -- | Ingeniería. -- Tesis y disertaciones académicasClasificación LoC:TK7874.843 | P65 2017Recursos en línea: Tesis Digital.
Nota de disertación: Tesis (Licenciatura)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2017. Resumen: El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr este objetivo se sincronizó el sourcemeter (fuente y medidor
de voltaje y corriente) con el barrido del SPM. Se utilizó una tarjeta de adquisición de datos (DAQ) controlada desde LabVIEW, para leer las señales de sincronía del SPM con la finalidad de conocer la posición exacta de la punta sobre la cual está interactuando la muestra y realizar la polarización correcta. Se realizaron grabados de patrones sobre una película delgada de Zirconato Titanato de Plomo (PZT) y posteriormente se obtuvieron imágenes de amplitud y fase en el modo de
microscopía de fuerza de piezorespuesta (PFM del inglés Piezoresponse force microscopy).
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tesis | Biblioteca Central Ensenada | Colección de Tesis | TK7874.843 P65 2017 (Browse shelf(Abre debajo)) | 1 | Disponible | ENS087262 |
Tesis (Licenciatura)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2017.
Incluye referencias bibliográfica.
El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr este objetivo se sincronizó el sourcemeter (fuente y medidor
de voltaje y corriente) con el barrido del SPM. Se utilizó una tarjeta de adquisición de datos (DAQ) controlada desde LabVIEW, para leer las señales de sincronía del SPM con la finalidad de conocer la posición exacta de la punta sobre la cual está interactuando la muestra y realizar la polarización correcta. Se realizaron grabados de patrones sobre una película delgada de Zirconato Titanato de Plomo (PZT) y posteriormente se obtuvieron imágenes de amplitud y fase en el modo de
microscopía de fuerza de piezorespuesta (PFM del inglés Piezoresponse force microscopy).
