TY  - BOOK
AU  - Ghandhi,Sorab Khushro
TI  - VLSI fabrication principles: silicon and gallium arsenide 
SN  - 9780471580058
AV  - TK7874 G43 1994
PY  - 1994///
CY  - New York
PB  - Wiley
KW  - Circuitos integrados
KW  - Integración a gran escala
KW  - lemb
KW  - Silicio
KW  - Arseniuro de galio
KW  - Integrated circuits
KW  - Very large scale integration
KW  - Silicon
KW  - Gallium arsenide
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
UR  - http://www.loc.gov/catdir/description/wiley037/93040716.html
UR  - http://www.loc.gov/catdir/toc/onix05/93040716.html
ER  -