TY  - BOOK
AU  - Ree,Moonhor
AU  - Yoon,Jinhwan
AU  - Heo,Kyuyoung
TI  - Low-k nanoporous interdielectrics: materials, thin film fabrications, structures and properties 
SN  - 9781616687496 (softcover)
AV  - TK7871.15 .F5 R44 2010
PY  - 2010///
CY  - Hauppauge, N.Y.
PB  - Nova Science Publishers
KW  - Películas dieléctricas
KW  - Electrónica
KW  - Dielectric films
KW  - Microelectronics
KW  - Materials
KW  - Interconectores (Tecnología de circuitos integrados)
KW  - Interconnects (Integrated circuit technology)
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
ER  -