TY - BOOK AU - Jurado González,Jorge Adolfo AU - Tiznado Vázquez,Hugo AU - Muñoz Muñoz,Franklin TI - Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica AV - QC378 J87 2016 PY - 2016/// CY - Ensenada, Baja California KW - Ingeniería KW - Tesis y disertaciones académicas N1 - Tesis (Licenciatura)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2015; Incluye referencias bibliográficas N2 - Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks un software de diseño "asistido por computadora" (CAD) en 3D UR - https://drive.google.com/file/d/0ByZyFBRL67c0eE9ZYXZSVkJnZEU/view?usp=sharing ER -