TY  - BOOK
AU  - Pont de la Torre,Ulises Augusto
AU  - Murillo Bracamontes,Eduardo Antonio
AU  - Martínez Rosas,Miguel Enrique
TI  - Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
AV  - TK7874.843 P65 2017
PY  - 2017///
CY  - Ensenada, Baja California, 
KW  - Nanolitografía
KW  - Ingeniería
KW  - Tesis y disertaciones académicas
N1  - Tesis (Licenciatura)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingeniería, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2017; Incluye referencias bibliográfica
N2  - El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr este objetivo se sincronizó el sourcemeter (fuente y medidor
de voltaje y corriente) con el barrido del SPM. Se utilizó una tarjeta de adquisición de datos (DAQ) controlada desde LabVIEW, para leer las señales de sincronía del SPM con la finalidad de conocer la posición exacta de la punta sobre la cual está interactuando la muestra y realizar la polarización correcta. Se realizaron grabados de patrones sobre una película delgada de Zirconato Titanato de Plomo (PZT) y posteriormente se obtuvieron imágenes de amplitud y fase en el modo de
microscopía de fuerza de piezorespuesta (PFM del inglés Piezoresponse force microscopy)
UR  - https://drive.google.com/file/d/1xeU1lngVFn5VgLbbdJnvuadEeVy-1FYt/view?usp=sharing
ER  -