TY  - BOOK
AU  - García Gallegos,Alan Alejandro
AU  - Pérez Landeros,Oscar Manuel
AU  - Radnev Nedev,Nicola
ED  - Universidad Autónoma de Baja California.
TI  - Diseño y simulación de dispositivos MEMS basados en películas delgadas semiconductoras y aislantes nanoestructuradas 
AV  - TK7875  G37 2024
PY  - 2024///
CY  - Mexicali, Baja California
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Tesis y disertaciones académicas
KW  - Sistemas microelectromecánicos: diseño y construcción
KW  - Sistemas microelectromecánicos: modelos matemáticos
N1  - Maestría en Ingeniería; Tesis (Maestría) - - Universidad Autónoma de Baja California, Instituto de Ingeniería, Mexicali, 2024; Incluye referencias bibliográficas
UR  - https://drive.google.com/file/d/1BeKnVN5_cZdIH_gElod_nkAjWJ33ZH6y/view?usp=sharing
ER  -