TY - DATA AU - Cardoza Navarro,Jorge Iván AU - Radnev Nedev,Nicola AU - Pérez Landeros,Oscar Manuel ED - Universidad Autónoma de Baja California. TI - Síntesis y caracterización de óxido de níquel nanoestructurado para aplicaciones en MEMS AV - TA480.N6 C37 2025 PY - 2025/// CY - Mexicali, Baja California KW - Aleaciones de níquel KW - Tesis y disertaciones académicas KW - lemb KW - Dispositivos electromecánicos KW - Semiconductores de metal-óxido N1 - Maestría en Ingeniería; Tesis (Maestría) --Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería, Mexicali, 2025; Incluye referencias bibliográficas N2 - El presente trabajo de investigación aborda la síntesis y caracterización de: 1) películas delgadas de níquel (Ni), posteriormente oxidadas, 2) nanopartículas (NPs) de níquel, posteriormente oxidadas, y 3) estructuras basadas en NPs de óxido de níquel (NiOx) embebidas en películas de NiOx depositadas por sputtering. El objetivo principal fue evaluar cómo las condiciones de deposición y oxidación afectan las propiedades estructurales, morfológicas y ópticas del NiOx. Las películas y NPs de NiOx fueron depositadas sobre silicio y cuarzo para caracterizar sus propiedades ópticas, estructurales y eléctricas UR - https://drive.google.com/file/d/1XIaX1-Pyx_s3M_Y0t95Xe-KOR5zmHn9T/view?usp=sharing ER -