TY  - DATA
AU  - Navarro Rodríguez,Jackeline
AU  - Mateos Anzaldo,Francisco David
ED  - Universidad Autónoma de Baja California.
TI  - Diseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas para la obtención de películas delgadas semiconductoras y aislantes
AV  - QC378 N38 2025
PY  - 2025///
CY  - Mexicali, Baja California
KW  - Películas ópticas
KW  - Tesis y disertaciones académicas
KW  - lemb
KW  - Capas atómicas
KW  - Diseño y construcción
N1  - Maestría en Ingeniería; Tesis (Maestría) --Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería, Mexicali, 2025; Incluye referencias bibliográficas
N2  - La industria de semiconductores exige constantemente nuevas alternativas para obtener materiales con propiedades superiores, fundamentales para el desarrollo de la electrónica moderna. En respuesta a esta demanda, el presente proyecto de investigación se centró en el diseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas (ALD, por sus siglas en inglés “Atomic Layer Deposition”), que permite la deposición de películas semiconductoras y aislantes de espesor nanométrico a bajas temperaturas, mediante el uso de precursores en fase gaseosa. La técnica de ALD ofrece ventajas significativas, tales como: control preciso del espesor, capacidad para generar multicapas, uniformidad excepcional y recubrimiento conformal sobre estructuras tridimensionales con alta relación de aspecto
UR  - https://drive.google.com/file/d/1b1DoiE1vdnzmfRBpdTdq5ERujJMmAF8T/view?usp=sharing
ER  -