TY  - BOOK
AU  - Kohler,J.M.(J.Michael)
TI  - Etching in microsystem technology
SN  - 3-527-29561-5
AV  - TK7872 .M3 K64
PY  - 1999///
CY  - Weinheim
PB  - Wiley
N1  - Incluye bibliografia
ER  -