000			02629cmm a2200265 a 4500
001			u383236
003			SIRSI
008			150618s2015 mx fo | spa d
040			_cMX-MeUAM
050		0	_aQC176.8.M34 _bL59 2015
100	1		_aLizárraga Maldonado, Alejandro.
245	1	0	_aEstudio y caracterización de películas delgadas basadas en silicio depositadas por sputtering con magnetrón RF _h[recurso electrónico] / _cAlejandro Lizárraga Maldonado ; director, Mario Alberto Curiel Álvarez.
260			_aMexicali, Baja California, _c2015.
300			_a1 recurso en línea (62 p. : _bil., gráficas)
500			_aMaestría y Doctorado en Ciencias e Ingeniería.
502			_aTesis (Maestría) --Universidad Autónoma de Baja California. _bInstituto de Ingeniería, Mexicali, 2015.
504			_aIncluye referencias bibliográficas.
520			_aEn el presente trabajo se estudian las propiedades de películas delgadas basadas en Silicio depositadas por medio de Espurreo con Magnetrón RF empleado Argón como gas de trabajo a diferentes presiones. Las películas obtenidas se analizaron por medio de Microscopía de Fuerza Atómica (AFM), Espectroscopía de rayos X por energía dispersiva (EDS), Elipsometría Espectroscópica de Angulo Variable (VASE) y técnicas de caracterización eléctrica. Para el análisis de los datos de elipsometría se realizaron ajustes por medio de diversos modelos de funciones dieléctricas (B-Spline, Osciladores Generales) y se calcularon las constantes ópticas de las diferentes muestras. Un estudio preliminar de Elipsometría Espectroscópica (SE) permitió observar que las películas depositadas poseían constantes ópticas de óxidos de Silicio sub-estequiométricos (SiOx) con diferentes composiciones. Los espectros obtenidos de EDS confirmaron la presencia de Oxígeno en diferentes concentraciones en los depósitos y se observó una relación entre la presión de trabajo y el cambio de las constantes ópticas. A pesar de que la composición elemental de las películas no correspondía a las condiciones de depósito empleadas, se estudiaron sus propiedades ópticas y eléctricas de los depósitos y se propuso un modelo de elipsometría para la función dieléctrica de los depósitos.
650		4	_aPulverización catódica magnetrón _vTesis y disertaciones académicas.
700	1		_aCuriel Álvarez, Mario Alberto, _edir
710	2		_aUniversidad Autónoma de Baja California. _bInstituto de Ingeniería.
856	4		_zTesis Digital _uhttps://drive.google.com/file/d/0B7AGEh5aIwoTaUVNWEl4OUx1LXM/view?usp=sharing
596			_a2
942			_cTESIS
999			_c209872 _d209872