| 000 | 01343nam a22002057a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | MX-MeUAM | ||
| 005 | 20171107154527.0 | ||
| 008 | 171107b mx||||| |||| 00| 0 spa d | ||
| 040 | _bMX-MeUAM | ||
| 100 | 1 | _aSolorio Hernández, Eduardo | |
| 245 | 1 | 0 |
_aSíntesis y caracterización de las propiedades ópticas y morfológicas de multicapas ultradelgadas de Al2O3/ZnO crecidas por la técnica de Depósito por Capa Atómica _h[recurso electrónico] / _cEduardo Solorio Hernández ; dirigida por Javier A. López Medina. |
| 260 |
_aEnsenada, Baja California, _c2016. |
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| 300 |
_a1 recurso en línea v, 44 p. _bil. |
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| 502 | _aTesis (Licenciatura)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingeniería Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2016. | ||
| 504 | _aIncluye referencias bibliográficas. | ||
| 520 | _aEn este trabajo de investigación se realizó el estudio de las propiedades ópticas y morfológicas de multicapas ultradelgadas crecidas por la técnica de Depósito por Capa Atómica (ALD, por sus siglas en inglés Atomic Layer Deposition) a partir de óxidos metálicos sobre sustratos de silicio con orientación cristalográfica (100). | ||
| 700 | _aLópez Medina, Javier A. | ||
| 856 | 4 |
_uhttps://drive.google.com/file/d/1wEN-xfNaQLS-bqHhGYqvNr05xwzT4Ejv/view?usp=sharing _zTesis Digital. |
|
| 942 | _cTESIS | ||
| 999 |
_c223300 _d223300 |
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