000			02376nam a22002417a 4500
003			MX-MeUAM
005			20181203114419.0
008			181129s2018 mx ||||fo||||o spa d
040			_aMX-MeUAM _erda _bspa
050		4	_aQC378 _bV39 2018
100	1		_aVazquez Arce, Jorge Luis, _d1993-
245	1	0	_aSíntesis y caracterización de las propiedades vibracionales e isotópicas de Ga(CH3)3, para el crecimiento de películas delgadas de GaN mediante la técnica Depósito por Capa Atómica _h[recurso electrónico] / _cJorge Luis Vazquez Arce ; dirigida por Jorge Octavio Mata Ramírez
260			_aEnsenada, Baja California, _c2018
300			_a1 recurso en línea viii, 62 p. : _bil.
502			_aTesis (Maestría)--Universidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ingenieria, Arquitectura y Diseño, Ensenada, 2018
504			_aIncluye referencias bibliográficas
520			_aEn este trabajo de investigación se realizó el estudio de las propiedades vibracionales e isotópicas de trimetilgalio Ga(CH3) sintetizado vía aducto de Ga(CH3)·(C5H11)2O a partir de una aleación eutéctica de galio y magnesio Ga2Mg5, iodometano (ICH3) e isoamil-éter (C5H11)2O a 120 oC. La fase cristalina de la aleación de Ga2Mg5 fue caracterizada por la técnica de Difracción de Rayos X (XRD) y la morfología superficial por Microscopía Electrónica de Barrido (SEM). Los modos vibracionales de Ga(CH3) fueron caracterizados por Espectroscopia Infrarroja asistida por Transformada de Fourier (FTIR) complementada por Espectroscopia de Reflexión Interna (ATR-IR), y el patrón isotópico mediante espectroscopia de masas. Además, se realizó el estudio espectroscópico de Fotoelectrones Emitidos por Rayos X (XPS) de la comparación del estado químico y la estructura electrónica de películas delgadas de GaN crecidas por la técnica de depósito por capas atómicas asistido por plasma (PE-ALD, por sus siglas en inglés; Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) a 150 oC donde se utilizó el Ga(CH3)3 sintetizado, Ga(CH3)3 comercial, y radicales de nitrógeno como reactante.
650		4	_aIngeniería _vTesis y disertaciones académicas
650		7	_aPelículas delgadas _2lemb
700	1		_aMata Ramírez, Jorge Octavio
856	4		_zTesis Digital _uhttps://drive.google.com/file/d/12Dj_quhypCaYPAkhFlo1UgRiGl46aS09/view?usp=sharing
942			_cTESIS
999			_c232442 _d232441