000			02419nam a2200265 4500
003			MX-MeUAM
005			20250123154445.0
008			250116s2024 mx ||||go|||| 00| 0 spa d
040			_dMX-MeUAM
050		4	_aTK7871.15.F5 _bC67 2024
100	1		_936991 _aCórdova Cortez, Luis Fernando, _d1999-
245	1	0	_aOptimización de las condiciones de depósito de películas de VOx preparadas por la técnica de erosión iónica _h[recurso electrónico] / _cLuis Fernando Córdova Cortez ; dirigida por Duilio Valdespino Padilla
260			_aEnsenada, Baja California, _c2024
300			_a1 recurso en línea, 48 p. : _bil. ; col. ; graf. ; col.
500			_aLicenciatura
502			_aUniversidad Autónoma de Baja California. Facultad de Ciencias, Ensenada, 2024.
504			_aIncluye referencias bibliográficas e índice.
520			_aEn esta investigación se estudió la influencia de las condiciones de depósito de películas de óxido de vanadio no estequiométrico (VOx), preparadas sobre sustratos de Si [100], utilizando la técnica de erosión iónica d.c. asistida por magnetrón. Variando el flujo de oxígeno (0 mL/min y 3.6 mL/min) y la temperatura del tratamiento térmico ex situ (500 oC, 550 oC y 600 oC). Posteriormente se analizó la composición de las películas, su morfología y su resistividad. En cuanto a la composición, las muestras de 500 oC de temperatura de recocido y sin flujo de oxígeno presentaron diferentes fases de óxido de vanadio (V2O5, V2O3 y V3O7), al aumentar la temperatura a 600 oC se obtiene la fase pura V2O5 en muestras con y sin flujo de oxígeno. Las muestras de VOx sin oxígeno presentaron una morfología de granos más grandes (0. 99 μ𝑚 ± 0. 23 μ𝑚) que las crecidas con oxígeno (0. 63 μ𝑚 ± 0. 19 μ𝑚). En base a la resistividad calculada por medio del método de cuatro puntas y el efecto Hall, las películas en presencia de flujo de oxígeno durante el depósito muestran una resistividad promedio menor que las crecidas sin presencia de flujo de oxígeno.
650		4	_aCiencias _vTesis y disertaciones académicas.
650		4	_aPelículas delgadas.
700	1		_924553 _aValdespino Padilla, Duilio
710	2		_998 _aUniversidad Autónoma de Baja California. _bFacultad de Ciencias.
856	4		_uhttps://drive.google.com/file/d/1O5Lnsrz0TxSl-eTRS9XfmslBqTYbKqCL/view?usp=drive_link _zTesis Digital.
942			_cTESIS
999			_c271003 _d271002