Fabrication engineering at the micro and nanoscale / Stephen A. Campbell.

Por: Campbell, Stephen A, 1954-Colaborador(es): Campbell, Stephen A, 1954-. Science and engineering of microelectronic fabricationTipo de material: TextoTextoSeries Oxford series in electrical and computer engineeringDetalles de publicación: New York : Oxford University Press, 2008Edición: 3rd edDescripción: xiv, 647 p. : il. ; 24 cmISBN: 9780195320176 (pbk. : alk. paper); 0195320174 (pbk. : alk. paper)Tema(s): Semiconductores -- Diseño y construcción | Semiconductors -- Design and constructionClasificación LoC:TK7871.85 | C356 2008Recursos en línea: Table of contents onlyTexto
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Incluye referencias bibliográficas e índice.

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