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		Fabrication engineering at the micro and nanoscale / Stephen A. Campbell. por Campbell, Stephen A, 1954- \| Campbell, Stephen A, 1954-. Science and engineering of microelectronic fabrication. Series Oxford series in electrical and computer engineeringEdición: 3rd ed.Tipo de material: Texto; Forma literaria: No es ficción ; Audiencia: Especializado; Detalles de publicación: New York : Oxford University Press, 2008Acceso en línea: Table of contents only Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Central Mexicali (4) Signatura topográfica: TK7871.85 C356 2008, ...
		Fabrication engineering at the micro and nanoscale / Stephen A. Campbell. por Campbell, Stephen A, 1954- \| Campbell, Stephen A, 1954-. Science and engineering of microelectronic fabrication. Series Oxford series in electrical and computer engineeringEdición: 4th ed.Tipo de material: Texto; Formato: impreso festschrift Idioma: Inglés Detalles de publicación: New York : Oxford University Press, 2013Acceso en línea: Table of contents only Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Central Tijuana (3) Signatura topográfica: TK7871.85 C356 2013, .., Biblioteca Central Mexicali (1) Signatura topográfica: TK7871.85 C356 2013, Biblioteca Central Ensenada (1) Signatura topográfica: TK871.85 C35 2013.
		The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell. por Campbell, Stephen A, 1954-. Series Oxford series in electrical engineeringTipo de material: Texto Idioma: Inglés Detalles de publicación: New York : Oxford University, 1996Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Central Ensenada (1) Signatura topográfica: TK7871.85 C35.

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