Etching in microsystem technology / Michael Kohler.
Tipo de material:
TextoIdioma: Inglés Detalles de publicación: Weinheim : Wiley, 1999Descripción: xvi, 368 p. ; 24 cmISBN: 3-527-29561-5Tema(s): Masks (Electronics) | Microlitografia | Plasma etchingClasificación LoC:TK7872 | .M3 K64
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras |
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Libro
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Biblioteca Central Ensenada | Acervo General | TK7872 .M3 K64 (Browse shelf(Abre debajo)) | 1 | Disponible | ENS005484 |
Incluye bibliografia.
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