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		Advances in CMP/polishing technologies for the manufacture of electronic devices [recurso electrónico] / edited by Toshiro Doi, Ioan D. Marinescu, Syuhei Kurokawa. por Doi, Toshiro [edt] \| Marinescu, Ioan D [edt] \| Kurokawa, Syuhei [edt]. Edición: 1st ed.Tipo de material: Texto; Formato: disponible en línea ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: Oxford : William Andrew, 2012Acceso en línea: Libro electrónico ScienceDirect Disponibilidad: Ítems disponibles para referencia: Biblioteca Electrónica Not for loan (1) Signatura topográfica: TS670 .A386 2012 EB.
		Principles of modern grinding technology [recurso electrónico]. por Rowe, W. Brian. Edición: 2nd ed.Tipo de material: Texto; Formato: disponible en línea ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: Waltham, MA : William Andrew, 2014Acceso en línea: Libro electrónico ScienceDirect Disponibilidad: Ítems disponibles para referencia: Biblioteca Electrónica Not for loan (1) Signatura topográfica: TJ1280.
		No hay imagen de cubierta disponible Tribology of abrasive machining processes [recurso electrónico] / edited by Ioan D. Marinescu...[et al.]. por Marinescu, Ioan D. Edición: 2nd ed.Tipo de material: Texto; Formato: disponible en línea ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: [Waltham, MA] : William Andrew, c2013Acceso en línea: Libro electrónico ScienceDirect Disponibilidad: Ítems disponibles para referencia: Biblioteca Electrónica Not for loan (1) Signatura topográfica: TJ1280 .T75 2013.

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