MARC details
| 000 -LIDER |
|---|
| fixed length control field |
02275cmm a2200289 a 4500 |
| 001 - CONTROL NUMBER |
|---|
| control field |
u315815 |
| 003 - CONTROL NUMBER IDENTIFIER |
|---|
| control field |
MX-MeUAM |
| 005 - DATE AND TIME OF LATEST TRANSACTION |
|---|
| control field |
20250826061222.0 |
| 008 - FIXED-LENGTH DATA ELEMENTS--GENERAL INFORMATION |
|---|
| fixed length control field |
250825s2025 mx fo d spa d |
| 040 ## - CATALOGING SOURCE |
|---|
| Original cataloging agency |
MX-MeUAM |
| Language of cataloging |
spa |
| Transcribing agency |
MX-MeUAM |
| 050 #4 - LIBRARY OF CONGRESS CALL NUMBER |
|---|
| Classification number |
QC378 |
| Item number |
N38 2025 |
| 100 1# - MAIN ENTRY--PERSONAL NAME |
|---|
| Personal name |
Navarro Rodríguez, Jackeline |
| 9 (RLIN) |
39241 |
| 245 10 - TITLE STATEMENT |
|---|
| Title |
Diseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas para la obtención de películas delgadas semiconductoras y aislantes |
| Medium |
[recurso electrónico] / |
| Statement of responsibility, etc. |
Jackeline Navarro Rodríguez ; director, Francisco David Mateos Anzaldo ; codirector, Jesús Román Martínez Castelo |
| 260 ## - PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC. (IMPRINT) |
|---|
| Place of publication, distribution, etc. |
Mexicali, Baja California, |
| Date of publication, distribution, etc. |
2025. |
| 300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION |
|---|
| Extent |
1 disco compacto ; |
| Dimensions |
4 3/4 plg. |
| 300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION |
|---|
| Extent |
1 recurso en línea, 90 p. : |
| Other physical details |
il. col., gráficas |
| 500 ## - GENERAL NOTE |
|---|
| General note |
Maestría en Ingeniería. |
| 502 ## - DISSERTATION NOTE |
|---|
| Dissertation note |
Tesis (Maestría) --Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería, Mexicali, 2025. |
| 504 ## - BIBLIOGRAPHY, ETC. NOTE |
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| Bibliography, etc |
Incluye referencias bibliográficas. |
| 520 ## - SUMMARY, ETC. |
|---|
| Summary, etc. |
La industria de semiconductores exige constantemente nuevas alternativas para obtener materiales con propiedades superiores, fundamentales para el desarrollo de la electrónica moderna. En respuesta a esta demanda, el presente proyecto de investigación se centró en el diseño y construcción de un sistema de depósito por capas atómicas (ALD, por sus siglas en inglés “Atomic Layer Deposition”), que permite la deposición de películas semiconductoras y aislantes de espesor nanométrico a bajas temperaturas, mediante el uso de precursores en fase gaseosa. La técnica de ALD ofrece ventajas significativas, tales como: control preciso del espesor, capacidad para generar multicapas, uniformidad excepcional y recubrimiento conformal sobre estructuras tridimensionales con alta relación de aspecto. |
| 650 #7 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM |
|---|
| Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Películas ópticas |
| Subdivisión de forma |
Tesis y disertaciones académicas. |
| Fuente del encabezamiento o término |
lemb |
| 650 #4 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM |
|---|
| Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Capas atómicas |
| Subdivisión general |
Diseño y construcción |
| Subdivisión de forma |
Tesis y disertaciones académicas. |
| 700 1# - ADDED ENTRY--PERSONAL NAME |
|---|
| Personal name |
Mateos Anzaldo, Francisco David |
| Relator term |
dir. |
| 9 (RLIN) |
22147 |
| 710 2# - ADDED ENTRY--CORPORATE NAME |
|---|
| Corporate name or jurisdiction name as entry element |
Universidad Autónoma de Baja California. |
| Subordinate unit |
Instituto de Ingeniería |
| 9 (RLIN) |
3321 |
| 856 4# - ELECTRONIC LOCATION AND ACCESS |
|---|
| Public note |
Tesis Digital |
| Uniform Resource Identifier |
https://drive.google.com/file/d/1b1DoiE1vdnzmfRBpdTdq5ERujJMmAF8T/view?usp=sharing |
| 942 ## - ADDED ENTRY ELEMENTS (KOHA) |
|---|
| Koha item type |
Tesis |
