Fabrication engineering at the micro and nanoscale / Stephen A. Campbell.
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TextoSeries Oxford series in electrical and computer engineeringDetalles de publicación: New York : Oxford University Press, 2008Edición: 3rd edDescripción: xiv, 647 p. : il. ; 24 cmISBN: 9780195320176 (pbk. : alk. paper); 0195320174 (pbk. : alk. paper)Tema(s): Semiconductores -- Diseño y construcción | Semiconductors -- Design and constructionClasificación LoC:TK7871.85 | C356 2008Recursos en línea: Table of contents only
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras |
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Incluye referencias bibliográficas e índice.
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