Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.).
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TextoDetalles de publicación: Berlin ; New York : Springer, c1998Descripción: xxviii, 616 p. : il. ; 24 cmISBN: 9783540616726; 3540616721 (alk. paper)Tema(s): Obleas de semiconductores -- Limpieza | Silicio -- Superficies | Tratamiento de superficies | Semiconductor wafers -- Cleaning | Silicon -- Surfaces | Surface preparationClasificación LoC:TK7871.85 | U58 1998Recursos en línea: Table of contents only
| Publisher description
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Signatura | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras |
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Libro
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Biblioteca Central Mexicali | Acervo General | TK7871.85 U58 1998 (Browse shelf(Abre debajo)) | 1 | Disponible | MXL101735 |
Incluye referencias bibliográficas e índice.
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